20 世纪90 年代以来靶材已蓬勃发展成为一个专业化产业，中国及亚太地区靶材的需求占有世界70%以上的市场份额。大量不同的沉积技术用来沉积生长各种薄膜 ，而靶材是制作薄膜的关键，品质的好坏对薄膜的意义重大。目前高端品质靶材主要由:日本、德国和美国生产，我国靶材产业起步较晚，在产品质量与精细标准上与国外有不少的差距，国内也有许多大学及研究机构对靶材积极投入了大量钻研与开发，经过这几年的发展也涌现了一批在靶材行业的公司和院校。在国内占据了大部分中等和要求不高的靶材市场份额。

1 靶材应用行业分类

1.1 装饰、工模具镀膜行业靶材铬靶（Cr），平面铬靶，喷涂铬管；

铬硅靶90/10Wt%,50/50at%,25/75at%(电弧，平面靶，旋转管靶）；

钛铝靶50/50at%,70Ti/30at%,67AL/33at%（电弧，平面靶，旋转管靶）；

钛铝硅靶1:1:1at%,1:2:1at%(电弧，平面靶，旋转管靶）；

钛靶，钛管靶，锆靶；

金靶，玫瑰金靶；

石墨靶，镍靶，铝靶，不锈钢靶等。

1.2 太阳能光伏光热行业靶材

氧化锌铝靶ZAO； 硅靶；钛靶、氧化钛靶；铝靶；铬靶、镍铬；锌铝、钨、钼

靶等。

1.3 建筑汽车玻璃大面积镀膜

硅铝靶、旋转硅铝靶；氧化钛靶；锡靶；铬靶；硅靶；钛靶、不锈钢靶。

1.4 平面显示行业

ITO 靶；二氧化硅靶；高纯硅靶5-7N；高纯铬靶3N5；TFT 钼靶；钼铌靶；钨钛

靶90/10wt%；高纯铝靶等。

1.5 光学，光通信，光存储行业

银靶；钽靶；硫化锌靶；高纯铝靶；硅靶。

2 常用靶形

常用靶形有电弧靶、平面靶、旋转管靶。

2.1 平面靶材利用率提高方式

（1）改变磁铁运动方向

（2）改变磁力线分布宽度和高度

2.2 靶材性能与要求

靶材质量直接影响着薄膜的物理、外观、力学等性能，因而对靶材质量的评判较为严格，主

要应满足以下要求：杂质及氧含量低、纯度高；致密度高；成分与组织结构均匀；晶粒尺寸细小。

2.3 劣质靶材缺陷

a)和b)为熔炼铬靶烧蚀后靶面情况

c)靶面有凹痕为引弧针安装不当导致的

d)水晶镀膜靶材密度不够，烧蚀后区别

e)等离子喷涂氧化钛旋转管靶不良

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