本文尝试对工业镀膜及相关制品加工中出现的若干缺陷案例采用SEM-BSE/EDS进行观测，分析并比较缺陷/正常区域在形貌结构、组成上的差异，寻找缺陷成因，进而提出相应的生产及品质改进方案。

对于镀膜玻璃膜面所出现的针孔，一般来说,业内较为普遍认为主因是设备运行一段时间后溅射腔体内附着的靶材料崩落在玻璃待镀表面，使得部分膜层不能附着至玻璃 。可以看到在缺陷发生处，其亮度与周边区域有所不同。根据BSE的成像机理，背散射电子发射几率与被轰击的原子的原子序数呈正向关系，可简单理解为亮度高的区域内较重的元素分布越多。

在Low-E膜层各组成中，Zui重的元素为Ag或其它贵金属，因此当照片内亮度出现明显对比变化时（变亮/变暗），说明该处的银（或其它贵金属）有明显的变化（富集/丢失）。因此可以判断，缺陷区域的Ag层有所缺失。EDS检测结果可以看到在缺陷区域内未检出有Ag含量，直接证明了该区域的膜层缺失。溅射靶材的纯度是影响这一缺陷的重要因素。

国内优质的靶材供应商，采取高纯氩气保护等离子喷涂技术的制作方式来生产高品质高纯度的溅射靶材，此生产技术可抑制热源将粉末材料加热后，材料在高温之下遭受氧化二覆盖沉积造成氧含量过高的问题，导致溅射过程中产生靶材氧化结瘤的情况，进而发展起来的一种新型低氧精密喷涂技术。

    国内优质的镀膜靶材供应商生产的旋转银靶，银材料利用率达70%以上（目前平面银靶利用率30%不到）；延长银靶换靶周期，提高镀膜企业生产效率。其高利用率在节能及环保方面有重要意思。