国内高品质旋转靶制造商

本文尝试对工业镀膜及相关制品加工中出现的若干缺陷案例采用SEM-BSE/EDS进行观测，分析并比较缺陷/正常区域在形貌结构、组成上的差异，寻找缺陷成因，进而提出相应的生产及品质改进方案。

       圆环形斑点是导致镀膜废品的一个较常见原因，样品Ⅱ的缺陷全貌及核心区域可以看到，缺陷呈轮状向外扩散，在镀膜玻璃表面形成了明显的起伏。对缺陷的不同区域分别放大并进行了EDS分析，结果发现缺陷核心区域有非常高含量的Sn，而在所施镀膜系中（以及镀膜腔体内），未使用含有大量Sn的材料。同时，可以看到高亮度的缺陷核是嵌入玻璃基体的，进一步表明Sn主要存在于玻璃基体本身。

       由于磁控溅射过程中玻璃表面会富集大量的电荷并聚向锡点之中，进一步通过放电将能量释放，锡点爆开后形成较规则的圆环。即使锡点尺寸较小，没有在镀膜过程中被引爆，也会在后续钢化过程中熔开淌向四周形成近圆形斑点，此时则需要根据外观质量标准来判断成品是否可以放行。

造成这种缺陷的因素有很多，其中镀膜靶材的的杂质含量和分布是否均匀起着重要的作用。国内优质的靶材供应商，采取高纯氩气保护等离子喷涂技术的制作方式来生产高品质高纯度的溅射靶材，此生产技术可抑制热源将粉末材料加热后，材料在高温之下遭受氧化二覆盖沉积造成氧含量过高的问题，导致溅射过程中产生靶材氧化结瘤的情况，进而发展起来的一种新型低氧精密喷涂技术。