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磁控溅射靶材的应用

发布:2017-07-10 15:38,更新:2010-01-01 00:00

    磁控溅射是目前工业表面处理常用的方法之一,广泛应用于太阳能电池,建筑玻璃,汽车玻璃,半导体,平板电视等行业。


    磁控溅射Zui先是应用于光学领域,二战时期,德国人首先采用真空蒸发镀膜法镀制了大量的光学镜片应用于军事望远镜和瞄准镜,并一直发展到高透过率、高反射率、分光过滤等现代光学玻璃镀膜应用;

       

    磁控溅射的应用领域:新兴的电子行业,真空镀膜法被大量应用于电阻、电容和半导体的制造,后来这一技术又逐渐发展成为集成电路和微电子器件的细微加工领域,并一直应用到现在;同样新兴的材料改性也需要提供大量具有特殊性能的工程材料,而在材料改性和薄膜技术方面真空电镀又是走在了技术的前沿,特别是在高腐蚀、高耐温、高强度、高润滑等领域,真空镀膜法有其强大的技术优势并将一直发展下去。


    伴随着磁控溅射设备和技术的不断改进,加工成本的不断降低,特别是自70年代后期磁控溅射镀膜工艺和设备的发展,越来越多的真空镀膜加工被应用到装饰+防腐领域,现在,在一些高端消费品的表面装饰已经可以看到真空电镀的应用了。


    靶材主要品种有 :银(Ag)靶、Cr靶、Ti靶、镍铬(NiCr)靶、锌锡(ZnSn)靶、硅铝(SiAl)靶、氧化钛(TixOy)靶等。靶材在玻璃上的另一个重要应用是制备汽车后视镜,主要是铬靶、铝靶、氧化钛靶等。随着汽车后视镜档次要求的不断提高,很多企业纷纷从原来的镀铝工艺转成真空溅射镀铬工艺。 

      

    尤特新材料是一家专业生产靶材的公司,可针对玻璃行业、太阳能行业、学校实验室、科研机构等客户单位生产不同种类的靶材,可根据客户的需要对靶材进行量身定做,可生产各种高纯、高密度的金属靶材、各种氧化物靶材、陶瓷靶材,并且可以定做各种氧化物掺杂靶材,同时我公司的合金靶材也可以按照客户要求加工二元、三元、四元等合金靶材,并且可以依据实验需求对靶材进行绑定.


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